小流量氣體質量流量計_科威勒

小流量氣體質量流量計_科威勒

原理&結構

FGM222系列質量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所 開發的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電 流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。在輸出方面，帶有工業級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時 流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA 和 1-5V 模擬信號，以及 RS485 等數字 通信方式。

特點

溫度和壓力不敏感

*的零點穩定性

超快的響應速度

良好的重復性和再現性

多種信號輸出方式

采用液晶觸控顯示和控制

配備高duan比例電磁閥

小流量氣體質量流量計_科威勒

應用

半導體加工

燃燒控制室

分析和環保

真空技術

表面處理

食品和制藥

化工（石化）等過程控制

技術參數

尺寸圖

選型表

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